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回收旧单晶硅炉+上海嘉定plc编程回收维修/保养

文章来源:shxj365 发布时间:2024-04-29 02:33:22


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炉室结构为顶升式,主炉室和副炉室启时由液压传动装置实现上移。以石墨电阻加热器,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池,集成电路所需要的高品质硅单晶。是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中TD-800型软轴提拉型单晶炉单晶炉主机系统包括:底座立柱炉室和副炉室之间,设有浮动式翻板阀室,可在现场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。新型翻板阀结构,拱形封头式炉盖结构,考虑热变形采用浮动提升结构,防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴,电控系统采用微机控制,红外测径技术,进口电动及驱动器。晶升和埚升速度,炉内压力,冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示,两笔记录仪记录温度和籽晶拉速,能稳定的控制生长直径5~8英寸,直径均匀的无错位单晶。

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无泄露,长期使用不需充磁,精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性高速旋转下籽晶晃动小于2mm浮动式翻板阀设在主副炉室之间并便于机动取出晶体。本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电维修,电机保护采用空气关和丝结合的方法便于操作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。加热器短路,加热器电阻突变,人工输入失误等错误。(3)工作站系统,本系统还配置有工作站系统,用一台PC机可同时8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。其结构原理如图F1所示,其动作原理与按钮关相同,但其触点的分合速度取决于生产机械的运行速度,不宜用于速度低于0.4m/min的场所。直动式行程关组成1:推杆 2&4:簧 3:动断触点 5:动合触点.。